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流量測(cè)量主機(jī) |
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| 型 號(hào)：molbox RFM |
| 品 牌：美國FLUKE |
| 技術(shù)指標(biāo)：用戶手冊(cè)、校準(zhǔn)證書、電源線、(2) molbox RFM到molbloc壓線、(1) molbox RFM到molbloc數(shù)據(jù)線、(2)直通壓力快速連接器 |
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館陶流量測(cè)量主機(jī)-molbox RFM-美國FLUKE
molbox RFM是一個(gè)輔助單元，可使用molbloc-L層流和molbloc-S聲速流元件進(jìn)行質(zhì)量流量測(cè)量。
molbloc 流量元件通過兩個(gè)壓力連接件和一根數(shù)據(jù)線連接到 molbox RFM 上。molbox RFM 從 molbloc EEPROM 讀取校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，并利用其內(nèi)置的高精度參考?jí)毫鞲衅?(RPT) 測(cè)量 molbloc 的上游壓力和下游壓力。歐姆測(cè)量系統(tǒng)讀取 molbloc 鉑電阻測(cè)溫儀的電阻，然后由此計(jì)算 molbloc 溫度。利用存儲(chǔ)在 molbox RFM 內(nèi)存中的 molbloc 校準(zhǔn)數(shù)據(jù)、壓力、溫度和氣體屬性，可計(jì)算出通過 molbloc 的氣流流速。對(duì)于 molbloc-L 流量元件，在流量量程 10% FS 以下時(shí)，可以選擇微量程選項(xiàng)來提高流量測(cè)量分辨度和精確度。
molbox RFM 和 molbloc 流量元件應(yīng)用廣泛，適用于需要高精確度測(cè)量低氣流的測(cè)量、測(cè)試和校準(zhǔn)應(yīng)用。對(duì)于主要考慮結(jié)構(gòu)緊湊、量程可調(diào)性高、成本較低的應(yīng)用來說，molbox RFM 是理想之選。第二種型號(hào) molbox1+ 針對(duì)的優(yōu)先考慮不確定度的應(yīng)用。要配置質(zhì)量流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，請(qǐng)查看隨后幾頁，選擇 molbloc 和壓力相關(guān)校準(zhǔn)，以便更好的覆蓋您的流量量程和壓力狀況。molstic 安裝系統(tǒng)和 COMPASS® for
molbox 流量校準(zhǔn)軟件可以幫您完善系統(tǒng)。
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結(jié)構(gòu)緊湊
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molbloc-L 覆蓋的流量量程從 1 sccm 到 100 slm，而 molbloc-S 覆蓋的流量上限更是達(dá)到了 5000 slm
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從 20 種不同的氣體中選擇
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利用 100:1 可調(diào)性實(shí)現(xiàn)認(rèn)證的測(cè)量不確定度 ±0.5% 讀數(shù)
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內(nèi)部閥門，可實(shí)現(xiàn)內(nèi)置的清洗、泄漏測(cè)試和自重支持
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包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高級(jí)測(cè)量函數(shù)
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完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 遠(yuǎn)程通信
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利用可由用戶設(shè)置的參考?jí)毫蜏囟葼顟B(tài)，測(cè)量質(zhì)量和體積流量
· 流量測(cè)量技術(shù)指標(biāo)
·
molbox RFM 可測(cè)量通過 molbloc 流量元件的流量。molbloc-L 的流量量程、可用工作壓力和壓力差，或者 molbloc-S 的流量量程、絕壓量程，取決于所使用的 molbloc 元件和校準(zhǔn)選項(xiàng)。請(qǐng)參閱 molbloc-L 和 molbloc-S 量程表，了解校準(zhǔn)和量程詳情。
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molbloc-L 量程最高可達(dá) 3E4，，可通過微量程選項(xiàng)提高在 10% FS 以下時(shí)的分辨率和精確度。對(duì)于 1E5-L molbloc，必須使用微量程選項(xiàng)才能達(dá)到技術(shù)指標(biāo)。
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molbox RFM
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molbloc-L（量程從1E1-L到3E4-L）
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molbloc-S（所有量程）
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測(cè)量更新速率
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1秒
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1秒
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范圍
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到molbloc滿刻度，取決于氣體和molbloc壓力
取決于校準(zhǔn)類型（請(qǐng)參閱molbloc-L量程表）
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流量相對(duì)于20 kPa到200 kPa絕壓（3 psia到30 psia）或20 kPa到200 kPa絕壓（7 psia到70 psia）上游
（請(qǐng)參閱molbloc-S量程表）
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分辨率
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0.01% FS
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±0.01%讀數(shù)
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線性
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±0.23%讀數(shù)，從10%到100% FS
±0.023% FS，在10% FS以下
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±0.25%讀數(shù)
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重復(fù)性
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±0.1%讀數(shù)，從10%到100% FS
±0.01% FS，在10% FS以下
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±0.1%讀數(shù)
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精確度1
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±0.25%讀數(shù)，從10%到100% FS
±0.025% FS，，在10% FS以下
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±0.3%讀數(shù)
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預(yù)測(cè)的穩(wěn)定度2
（一年期）
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±0.15%讀數(shù)，從10%到100% FS
±0.015% FS，，在10% FS以下
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讀數(shù)的±0.2％
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測(cè)量不確定度3
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±0.5%讀數(shù)，從10%到100% FS
±0.05% FS，在10% FS以下
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±0.5%讀數(shù)，從50 kPa到500 kPa，±0.5%流量@
50 kPa從20 kPa到50 kPa
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具有微量程選項(xiàng)的molbox RFM
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molbloc-L（量程從1E1-L到3E4-L）
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molbloc-L（量程僅僅是1E5)
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測(cè)量更新速率
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1秒
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1秒
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范圍
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從0到molbloc滿刻度，取決于氣體和molbloc壓力
取決于校準(zhǔn)類型（請(qǐng)參閱molbloc-L表格）
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從0到molbloc滿刻度，取決于氣體和molbloc壓力
取決于校準(zhǔn)類型（請(qǐng)參閱molbloc-L表格）
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分辨率
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0.01% FS，0.001% FS以下
10% FS
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0.01% FS
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線性
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±0.23%讀數(shù)，從1%到100% FS；±0.0023% FS，在1% FS以下
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±0.25%讀數(shù)，從5%到100% FS
±0.0125% FS，在5% FS以下
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重復(fù)性
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±0.1%讀數(shù)，從1%到100% FS
±0.001% FS，在1% FS以下
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±0.2%讀數(shù)，從5%到100% FS
±0.01% FS，在5% FS以下
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精確度1
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±0.25%讀數(shù)，從1%到100% FS
±0.0025% FS，在1% FS以下
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±0.32%讀數(shù)，從5%到100% FS
±0.016% FS，在5% FS以下
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預(yù)測(cè)的穩(wěn)定度2
（一年期）
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±0.15%讀數(shù)，從1%到100% FS
±0.0015% FS，在1% FS以下
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±0.2%讀數(shù)，從5%到100% FS
±0.01% FS，在5% FS以下
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測(cè)量不確定度3
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±0.5%讀數(shù)，從1%到100% FS
±0.005% FS，在1% FS以下
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±0.5%讀數(shù)，從5%到100% FS
±0.025% FS，在5% FS以下
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· molbloc-S（所有量程）
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除了沒有微量程以外，其他技術(shù)指標(biāo)與 molbox RFM 相同。只要將 molbox RFM 連接到 molbloc-S 上，就會(huì)禁用微量程傳感器。
· 1 精確度：包含線性度、遲滯和可重復(fù)性。
· 2 預(yù)測(cè)的穩(wěn)定度：典型 molbox RFM 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時(shí)一年內(nèi)從零到范圍值的最大變化情況。由于穩(wěn)定度只能是一種預(yù)測(cè)，因此應(yīng)該根據(jù)經(jīng)驗(yàn)建立特定 molbox RFM 的穩(wěn)定度。
· 3 測(cè)量不確定度：molbox RFM 流量指示相對(duì)于通過 molbloc 的流量真值的最大偏差，包括精確度、穩(wěn)定度和 DHI 校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)不確定度。molbloc 的測(cè)量不確定度技術(shù)指標(biāo)僅適用于使用的是 molbloc 校準(zhǔn)過的氣體的情況。所有 molbloc 都針對(duì) N2 校準(zhǔn)過。其他氣體的校準(zhǔn)是可選的。并非所有規(guī)格的 molbloc 在所有時(shí)間，對(duì)所有氣體都提供 DHI 校準(zhǔn)功能。請(qǐng)?jiān)谟嗁徢皺z查是否可用。
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型號(hào)
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描述
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Molbox
RFM
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molbox RFM參考流量監(jiān)控器
包含：
用戶手冊(cè)、校準(zhǔn)證書、電源線、(2)
molbox RFM到molbloc壓線、(1) molbox RFM到molbloc數(shù)據(jù)線、(2)直通壓力快速連接器
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5141-100
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molbox RFM, molbloc 5E1-L 10
to 100 sccm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E1-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5141-1K
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molbox RFM, molbloc 5E2-L 100
to 1,000 sccm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E2-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5141-10K
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molbox RFM, molbloc 5E3-L 1 to
10 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E3-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5141-50K
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molbox RFM, molbloc 3E4-L 5 to
50 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
3E4-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5142-1K
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molbox RFM-M, molbloc 5E2-L 10
to 1,000 sccm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E2-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5142-10K
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molbox RFM-M, molbloc 5E3-L
0.1 to 10 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E3-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5142-50K
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molbox RFM-M, molbloc 3E4-L
0.5 to 50 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
3E4-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5144-50K
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molbox RFM-M, molblocs 5E2-L
and 3E4-L10 sccm to 50 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E2-L and 3E4-L laminar flow elements
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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通用配件:
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配件
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描述
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MFC-CB控制盒
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MFC-CB控制盒
包括：
（2）MFC/MFM連接線套件
校準(zhǔn)線
電源線
操作與維護(hù)手冊(cè)
校準(zhǔn)報(bào)告
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針對(duì)molbloc/molbo用戶的校準(zhǔn)輔助軟件
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molstic-L安裝系統(tǒng)
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molstic-S安裝系統(tǒng)
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RFM-RMK
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機(jī)架安裝工具
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RFM
02
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微量程
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缁傚繒顩╅崗瀣彆閸欏憡鍨氱粩瀣╃艾1948楠炶揪绱濋弰顖欑瑯閻ｅ瞼鏁哥€涙劖绁寸拠鏇炰紣閸忛娈戞０鍡楊嚤閼板拑绱濇径姘嬀閺夈儻绱濋崚娑⑩偓鐘叉嫲閸欐垵鐫嶆禍鍡曠娑擃亞澹掔€规氨娈戦幎鈧張顖氱閸︾尨绱濇稉鍝勬倗娑擃亜浼愭稉姘额暙閸╃喐褰佹笟娑楃啊娴兼ǹ宸濋惃鍕ゴ闁插繐鎷板Λ鈧ù瀣櫊闂呮粈楠囬崫浣碘偓鍌滎洿缁傚嫬鍘犻惃鍕暏閹撮攱鍏滈惄鏍桨楠炲尅绱濋崠鍛閹垛偓閺堫垯姹夐崨妯糕偓浣镐紣缁嬪绗€閵嗕浇顓搁柌蹇庢眽閸涙ḿ鐡戠粵澶涚礉娴犳牔婊戦崚鈺冩暏缁傚繒顩╅崗瀣畱濞村鐦銉ュ徔鏉╂稖顢戝銉ょ瑹閻€劎鏁搁妴浣烘暩閸ｃ劏顔曟径鍥ф嫲鏉╁洨鈻奸弽鈥冲櫙閻ㄥ嫬鐣ㄧ憗鍛偓浣规櫊闂呮粏鐦栭弬顓炴嫲缁狅紕鎮婇敍灞借嫙娴犮儲顒濋幒褍鍩楃拹銊╁櫤閵嗗倷绮犲銉ょ瑹閹貉冨煑缁崵绮洪惃鍕暔鐟佸懓鐨熺拠鏇炲煂鏉╁洨鈻兼禒顏囥€冮惃鍕墡妤犲瞼娣幎銈忕礉娴犲骸鐤勬灞筋吇缁儳鐦戝ù瀣櫤閸掓媽顓哥粻妤佹簚缂冩垹绮堕惃鍕櫊闂呮粏鐦栭弬顓ㄧ礉缁傚繒顩╅崗瀣畱娴溠冩惂鐢喖濮崥鍕攽閸氬嫪绗熼惃鍕瑹閸旓繝鐝弫鍫ｇ箥鏉烆剙鎷版稉宥嗘焽閸欐垵鐫嶉妴鍌氭躬鏉╁洤骞撻惃鍕安楠炵繝鑵戦敍宀€顩寸粋鍕帬閻ㄥ嫭绁寸拠鏇炰紣閸忛攱娲块弰顖氳杽閼鹃攱鐣╅懡锝忕礉鐠с垹绶辨禍鍡愨偓濠冪ゴ鐠囨洑绗屽ù瀣櫤娑撴牜鏅妴瀣付娴ｈ櫕绁寸拠鏇炰紣閸忓嘲顨涢妴浣碘偓濠冨付閸掕泛浼愮粙瀣ㄢ偓瀣紣缁嬪绗€闁瀚ㄦ總鏍搼50婢舵矮閲滈獮鏉戝娴溠冩惂婵傛牠銆嶉敍灞间簰閸忓墎绨块崙鍡愨偓浣解偓鎰暏閵嗕礁鐣ㄩ崗銊ｂ偓浣稿灡閺傛壆娈戦悧瑙勨偓褑鈧苯顦崣妤€鍙忛悶鍐暏閹寸柉绂愮懢澶堚偓锟�
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閳煎洣绗㈤弬鐟版娴狀亝鍨氱粩瀣╃艾2003楠炶揪绱濇稉鏄忣洣娴犲簼绨ㄥ銉ょ瑹濡偓濞村鍗庨崳銊х埡閸欐垹鏁撴禍褍鎷伴柨鈧崬顕嗙礉閹绘劒绶垫禒顏勬珤闁鐎�+闁板秹鈧拷+鐎瑰顥婄拫鍐槸+閸╃顔勯張宥呭閵嗭拷
閳煎洤鍑￠張锟�2娑撳洤顔嶇€广垺鍩涚憴浣界槈閿涘苯鍘涢崥搴濊礋120娑擃亣顢戞稉姘崇Т鏉╋拷20000鐎规湹绱掓稉姘返鎼存柧鍗庨崳顭掔礉瀵版鍩屾导妤€顦挎导浣风瑹閵嗕胶鏁ら幋椋庢畱楠炴寧纭剧拋銈呭讲娑撳氦绂愰幍顑锯偓锟�
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閳煎洦鍨滄禒顑跨瑝娴犲懍璐熼幃銊﹀絹娓氭盯鐝拹銊╁櫤閵嗕線鐝幀褑鍏橀惃鍕梾濞村鍗庨崳顭掔礉閸欙箑顦绘潻妯绘箒缂佸繘鐛欐稉鏉跨槣閵嗕胶娣穱顔藉Η閺堫垶鐝惃鍕礋闂冪喍璐熼幃銊ュ帳鐠愮懓鏁崥搴㈡箛閸斺剝鏁幐浣碘偓锟�
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