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技術(shù)文章
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    層流元件
    型 號(hào):molbloc-L
    品 牌:美國福祿克FLUKE
    技術(shù)指標(biāo):范圍 從0到molbloc滿刻度,取決于氣體和molbloc壓力
    取決于校準(zhǔn)類型(請(qǐng)參閱第1.2.5.1.3節(jié))
    自貢層流元件-molbloc-L-美國福祿克FLUKE

    用于1 sccm到100 slm流量的層流元件

    molbloc-L 是與 molbox 質(zhì)量流量終端結(jié)合使用的層流元件。molbloc 流量路徑位于 molbloc 內(nèi),是活塞與結(jié)合緊密的汽缸體之間的縱向環(huán)形間隙。通過調(diào)整這個(gè)間隙的尺寸,可獲得不同的 molbloc 量程。對(duì)于高流量量程(1E4 尺寸及以上),需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 機(jī)體。

    特性一覽

    ·         可與現(xiàn)有的 molbox1+ 和 molbox RFM 質(zhì)量流量終端以及 COMPASS 軟件結(jié)合使用

    ·         整合了過濾器,可保護(hù)其免受污染

    ·         完整的氣體溫度調(diào)節(jié)和測(cè)量

    ·         連續(xù)、實(shí)時(shí)的讀數(shù)

    ·         可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)

    ·         無活動(dòng)部件

    molbloc-L量程
    molbloc 尺寸由一些相對(duì)于標(biāo)稱流量阻抗的數(shù)字指定。在 250 kPa 絕壓 (36 psia) 上游壓力和 50 kPa (7.5 psid) 壓力差的情況下,當(dāng)?shù)獨(dú)饬鹘?jīng) molbloc 時(shí),標(biāo)稱阻抗可產(chǎn)生標(biāo)稱流量量程。在實(shí)踐中,molbloc 流量量程可能與標(biāo)稱流量量程差別很大。這些差別來自氣體之間的密度和粘性之間的差別,,也來自不同的 molbloc 工作壓力校準(zhǔn)選項(xiàng)。

    技術(shù)指標(biāo)-標(biāo)準(zhǔn)molbloc-L校準(zhǔn)-與molbox1+終端結(jié)合使用

    測(cè)量更新速率

    1秒

    范圍

    從0到molbloc滿刻度,取決于氣體和molbloc壓力
    取決于校準(zhǔn)類型(請(qǐng)參閱第1.2.5.1.3節(jié))

    分辨率

    0.0015 % FS

    線性

    ±0.05%讀數(shù),從10%到100% FS
    ±0.005% FS,在10% FS以下

    重復(fù)性

    ±0.05%讀數(shù),從10%到100% FS
    ±0.005% FS,,在10% FS以下

    精確度1

    ±0.07%讀數(shù),從10%到100% FS
    10%FS下為±0.007%FS

    穩(wěn)定度2
    (1年期)

    ±0.09%讀數(shù),從10%到100% FS
    10%FS下為±0.009%FS

    測(cè)量不確定度3

    ±0.2%讀數(shù),從10%到100% FS
    10%FS下為±0.02%FS

    (N2和molbox1+支持且molbloc校準(zhǔn)時(shí)使用的任意氣體)

    1E5 molbloc
    ±0.5%讀數(shù),從25%到100% FS
    ±0.125% FS,在25% FS以下

    1 精確度:包含線性度、遲滯和可重復(fù)性。
    2 穩(wěn)定度:典型molbox1+和molbloc在典型環(huán)境下使用時(shí)特定時(shí)間段內(nèi)從零到范圍值的最大變化情況。由于穩(wěn)定度只能是一種預(yù)測(cè),因此應(yīng)該根據(jù)經(jīng)驗(yàn)建立特定molbloc和molbox1+的穩(wěn)定度。
    3 測(cè)量不確定度(精確度):molbox1+流量指示相對(duì)于通過molbloc的流量真值的最大偏差,包括精確度、穩(wěn)定度和福祿克公司計(jì)量校準(zhǔn)部的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量不確定度。


    技術(shù)指標(biāo)-特級(jí)molbloc-L校準(zhǔn)-與molbox1+終端結(jié)合使用

    測(cè)量更新速率

    1秒

    范圍

    從0到molbloc滿刻度,取決于氣體和molbloc壓力取決于校準(zhǔn)類型(請(qǐng)參閱第1.2.5.1.2節(jié))

    分辨率

    0.0015 % FS

    線性

    ±0.05%讀數(shù),從10%到100% FS
    ±0.005% FS,在10% FS以下

    重復(fù)性

    ±0.05%讀數(shù),從10%到100% FS
    ±0.005% FS,,在10% FS以下

    精確度1

    ±0.07%讀數(shù),從10%到100% FS
    10%FS下為±0.007%FS

    穩(wěn)定度2
    (1年期)

    ±0.03%讀數(shù),從10%到100% FS
    10%FS下為±0.003%FS

    測(cè)量不確定度3

    ±0.125%讀數(shù),從10%到100% FS
    10%FS下為±0.0125%FS

    (N2和molbox1+支持且molbloc校準(zhǔn)時(shí)使用的任意氣體)

    1E5 molbloc-L特級(jí)校準(zhǔn)不可用

    1 精確度:包含線性度、遲滯和可重復(fù)性。
    2 穩(wěn)定度:典型molbox1+和molbloc在典型環(huán)境下使用時(shí)特定時(shí)間段內(nèi)從零到范圍值的最大變化情況。由于穩(wěn)定度只能是一種預(yù)測(cè),因此應(yīng)該根據(jù)經(jīng)驗(yàn)建立特定molbloc和molbox1+的穩(wěn)定度。
    3 測(cè)量不確定度(精確度):molbox1+流量指示相對(duì)于通過molbloc的流量真值的最大偏差,包括精確度、穩(wěn)定度和福祿克公司計(jì)量校準(zhǔn)部的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量不確定度。


    技術(shù)指標(biāo)-標(biāo)準(zhǔn)molbloc-L校準(zhǔn)-與molbox RFM終端結(jié)合使用

     

    molbloc-L(量程從1E1-L到3E4-L)

    測(cè)量更新速率

    1秒

    范圍

    從0到molbloc滿刻度,取決于氣體和molbloc壓力,取決于校準(zhǔn)類型(請(qǐng)參閱molbloc-L量程表)

    分辨率

    0.01% FS

    線性

    ±0.23%讀數(shù),從10%到100% FS;±0.023% FS,在10% FS以下

    重復(fù)性

    ±0.1%讀數(shù),從10%到100% FS;±0.01% FS,在10% FS以下

    精確度1

    ±0.25%讀數(shù),從10%到100% FS;±0.025% FS,在10% FS以下

    預(yù)測(cè)的穩(wěn)定度2
    (一年期)

    ±0.15%讀數(shù),從10%到100% FS;±0.015% FS,在10% FS以下

    測(cè)量不確定度3

    ±0.5%讀數(shù),從10%到100% FS;±0.05% FS,在10% FS以下


    具有微量程選項(xiàng)的molbox RFM

     

    molbloc-L(量程從1E1-L到3E4-L)

    molbloc-L(量程僅僅是1E5)

    測(cè)量更新速率

    1秒

    1秒

    范圍

    從0到molbloc滿刻度,取決于氣體和molbloc壓力,取決于校準(zhǔn)類型(請(qǐng)參閱molbloc-L表)

    從0到molbloc滿刻度,取決于氣體和molbloc壓力,取決于校準(zhǔn)類型(請(qǐng)參閱molbloc-L表)

    分辨率

    0.01 % FS,在0.001 % FS以下;0.001 % FS,在10% FS以下

    0.01% FS

    線性

    ±0.23%讀數(shù),從1%到100% FS
    ±0.0023% FS,在1% FS以下

    ±0.25%讀數(shù),從5%到100% FS;±0.0125% FS,在5% FS以下

    重復(fù)性

    ±0.1%讀數(shù),從1%到100% FS;±0.001% FS,,在1% FS以下

    ±0.2%讀數(shù),從5%到100% FS;±0.01% FS,,在5% FS以下

    精確度1

    ±0.25%讀數(shù),從1%到100% FS;±0.0025% FS,在1% FS以下

    ±0.32%讀數(shù),從5%到100% FS;±0.016% FS,在5% FS以下

    預(yù)測(cè)的穩(wěn)定度2
    (一年期)

    ±0.15%讀數(shù),從1%到100% FS;±0.0015% FS,在1% FS以下

    ±0.2%讀數(shù),從5%到100% FS;±0.01% FS,在5% FS以下

    測(cè)量不確定度3

    ±0.5%讀數(shù),從1%到100% FS;±0.005% FS,在1% FS以下

    ±0.5%讀數(shù),從5%到100% FS;±0.025% FS,在5% FS以下

     

    型號(hào)

    描述

    1E1 VCR-V-Q

    molbloc質(zhì)量流元素

    每一個(gè)molbloc在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:

    ·        存儲(chǔ)和運(yùn)輸箱

    ·        柔軟的,可重復(fù)使用的VCR O形圈和安裝說明

    ·        全模,低壓氮?dú)?N2)校準(zhǔn)。

    其他N2校準(zhǔn)和/或沒有N2氣體的校準(zhǔn)必須作為單獨(dú)的單項(xiàng)產(chǎn)品訂購。

    ·        對(duì)美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所(NIST)的校準(zhǔn)報(bào)告記錄追蹤并報(bào)告已測(cè)量的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)

    5E1 VCR-V-Q

    molbloc質(zhì)量流元素

    每一個(gè)molbloc在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:

    ·        存儲(chǔ)和運(yùn)輸箱

    ·        柔軟的,可重復(fù)使用的VCR O形圈和安裝說明

    ·        全模,低壓氮?dú)?N2)校準(zhǔn)。

    其他N2校準(zhǔn)和/或沒有N2氣體的校準(zhǔn)必須作為單獨(dú)的單項(xiàng)產(chǎn)品訂購。

    ·        對(duì)美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所(NIST)的校準(zhǔn)報(bào)告記錄追蹤并報(bào)告已測(cè)量的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)

    1E2 VCR-V-Q

    molbloc質(zhì)量流元素

    每一個(gè)molbloc在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:

    ·        存儲(chǔ)和運(yùn)輸箱

    ·        柔軟的,可重復(fù)使用的VCR O形圈和安裝說明

    ·        全模,低壓氮?dú)?N2)校準(zhǔn)。

    其他N2校準(zhǔn)和/或沒有N2氣體的校準(zhǔn)必須作為單獨(dú)的單項(xiàng)產(chǎn)品訂購。

    ·        對(duì)美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所(NIST)的校準(zhǔn)報(bào)告記錄追蹤并報(bào)告已測(cè)量的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)

    2E2 VCR-V-Q

    molbloc質(zhì)量流元素

    每一個(gè)molbloc在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:

    ·        存儲(chǔ)和運(yùn)輸箱

    ·        柔軟的,,可重復(fù)使用的VCR O形圈和安裝說明

    ·        全模,,低壓氮?dú)?N2)校準(zhǔn)。

    其他N2校準(zhǔn)和/或沒有N2氣體的校準(zhǔn)必須作為單獨(dú)的單項(xiàng)產(chǎn)品訂購。

    ·        對(duì)美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所(NIST)的校準(zhǔn)報(bào)告記錄追蹤并報(bào)告已測(cè)量的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)

    5E2 VCR-V-Q

    molbloc質(zhì)量流元素

    每一個(gè)molbloc在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:

    ·        存儲(chǔ)和運(yùn)輸箱

    ·        柔軟的,可重復(fù)使用的VCR O形圈和安裝說明

    ·        全模,低壓氮?dú)?N2)校準(zhǔn)。

    其他N2校準(zhǔn)和/或沒有N2氣體的校準(zhǔn)必須作為單獨(dú)的單項(xiàng)產(chǎn)品訂購。

    ·        對(duì)美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所(NIST)的校準(zhǔn)報(bào)告記錄追蹤并報(bào)告已測(cè)量的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)

    1E3 VCR-V-Q

    molbloc質(zhì)量流元素

    每一個(gè)molbloc在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:

    ·        存儲(chǔ)和運(yùn)輸箱

    ·        柔軟的,可重復(fù)使用的VCR O形圈和安裝說明

    ·        全模,低壓氮?dú)?N2)校準(zhǔn)。

    其他N2校準(zhǔn)和/或沒有N2氣體的校準(zhǔn)必須作為單獨(dú)的單項(xiàng)產(chǎn)品訂購。

    ·        對(duì)美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所(NIST)的校準(zhǔn)報(bào)告記錄追蹤并報(bào)告已測(cè)量的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)

    5E3 VCR-V-Q

    molbloc質(zhì)量流元素

    每一個(gè)molbloc在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:

    ·        存儲(chǔ)和運(yùn)輸箱

    ·        柔軟的,可重復(fù)使用的VCR O形圈和安裝說明

    ·        全模,低壓氮?dú)?N2)校準(zhǔn)。

    其他N2校準(zhǔn)和/或沒有N2氣體的校準(zhǔn)必須作為單獨(dú)的單項(xiàng)產(chǎn)品訂購。

    ·        對(duì)美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所(NIST)的校準(zhǔn)報(bào)告記錄追蹤并報(bào)告已測(cè)量的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)

    1E4 VCR-V-Q

    molbloc質(zhì)量流元素

    每一個(gè)molbloc在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:

    ·        存儲(chǔ)和運(yùn)輸箱

    ·        柔軟的,,可重復(fù)使用的VCR O形圈和安裝說明

    ·        全模,低壓氮?dú)?N2)校準(zhǔn)。

    其他N2校準(zhǔn)和/或沒有N2氣體的校準(zhǔn)必須作為單獨(dú)的單項(xiàng)產(chǎn)品訂購。

    ·        對(duì)美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所(NIST)的校準(zhǔn)報(bào)告記錄追蹤并報(bào)告已測(cè)量的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)

    3E4 VCR-V-Q

    molbloc質(zhì)量流元素

    每一個(gè)molbloc在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:

    ·        存儲(chǔ)和運(yùn)輸箱

    ·        柔軟的,可重復(fù)使用的VCR O形圈和安裝說明

    ·        全模,低壓氮?dú)?N2)校準(zhǔn)。

    其他N2校準(zhǔn)和/或沒有N2氣體的校準(zhǔn)必須作為單獨(dú)的單項(xiàng)產(chǎn)品訂購。

    ·        對(duì)美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所(NIST)的校準(zhǔn)報(bào)告記錄追蹤并報(bào)告已測(cè)量的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)

    1E5 VCR-V-Q

    molbloc質(zhì)量流元素

    每一個(gè)molbloc在交付時(shí)都附帶以下內(nèi)容:

    ·        存儲(chǔ)和運(yùn)輸箱

    ·        柔軟的,可重復(fù)使用的VCR O形圈和安裝說明

    ·        全模,低壓氮?dú)?N2)校準(zhǔn)。

    其他N2校準(zhǔn)和/或沒有N2氣體的校準(zhǔn)必須作為單獨(dú)的單項(xiàng)產(chǎn)品訂購。

    ·        對(duì)美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所(NIST)的校準(zhǔn)報(bào)告記錄追蹤并報(bào)告已測(cè)量的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)

    molbloc-S校準(zhǔn)選件

    低壓20到200 kPa(3到30 psia)

    molbloc上游(指定溢價(jià)或標(biāo)準(zhǔn))


    標(biāo)準(zhǔn)壓力50到500 kPa(7到70 psia)

    molbloc上游(指定溢價(jià)或標(biāo)準(zhǔn))


    高壓200到2000 kPa(30到300 psia)

    molbloc上游(指定溢價(jià)或標(biāo)準(zhǔn))



    通用配件:


    配件

    描述

    molbloc-L出口

    工作壓力(絕壓):
    molbloc大氣壓出口
    高級(jí)或標(biāo)準(zhǔn)

    molbloc-L高壓

    工作壓力(絕壓):
    molbloc進(jìn)口處為325至525 kPa(48至76 psia)

    molbloc-L低壓

    工作壓力(絕壓):
    molbloc進(jìn)口處為250至325kPa((36至48psia)
    高級(jí)或標(biāo)準(zhǔn)

     


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