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技術文章
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    半導體工廠氣體檢測儀
    型　號：PS-2CKⅢ
    品　牌：日本新宇宙
    技術指標：檢測 TEOS等烷氧基系列氣
    榆林半導體工廠氣體檢測儀-PS-2CKⅢ-日本新宇宙
    型號 PS-2CKⅢ
    檢測原理 熱分解離子化式
    檢測氣體對象 TEOS等烷氧基系列氣體
    指示范圍 按照另外規(guī)格
    傳感器供給電源 由各指示計組件供給
    泵電源 AC100V±10%
    可延長距離 1km（使用2mm2線）
    檢測方式 泵吸引式
    防爆結構 非防爆結構
    使用溫度范圍 0℃～40℃
    使用電纜線 2芯+2芯屏蔽電纜線
    重量 約9.3kg

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