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流量測(cè)量主機(jī) |
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| 型 號(hào)：molbox RFM |
| 品 牌：美國(guó)FLUKE |
| 技術(shù)指標(biāo)：用戶手冊(cè)、校準(zhǔn)證書(shū)、電源線、(2) molbox RFM到molbloc壓線、(1) molbox RFM到molbloc數(shù)據(jù)線、(2)直通壓力快速連接器 |
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臺(tái)州流量測(cè)量主機(jī)-molbox RFM-美國(guó)FLUKE
molbox RFM是一個(gè)輔助單元，可使用molbloc-L層流和molbloc-S聲速流元件進(jìn)行質(zhì)量流量測(cè)量。
molbloc 流量元件通過(guò)兩個(gè)壓力連接件和一根數(shù)據(jù)線連接到 molbox RFM 上。molbox RFM 從 molbloc EEPROM 讀取校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，并利用其內(nèi)置的高精度參考?jí)毫鞲衅?(RPT) 測(cè)量 molbloc 的上游壓力和下游壓力。歐姆測(cè)量系統(tǒng)讀取 molbloc 鉑電阻測(cè)溫儀的電阻，，然后由此計(jì)算 molbloc 溫度。利用存儲(chǔ)在 molbox RFM 內(nèi)存中的 molbloc 校準(zhǔn)數(shù)據(jù)、壓力、溫度和氣體屬性，可計(jì)算出通過(guò) molbloc 的氣流流速。對(duì)于 molbloc-L 流量元件，在流量量程 10% FS 以下時(shí)，可以選擇微量程選項(xiàng)來(lái)提高流量測(cè)量分辨度和精確度。
molbox RFM 和 molbloc 流量元件應(yīng)用廣泛，適用于需要高精確度測(cè)量低氣流的測(cè)量、測(cè)試和校準(zhǔn)應(yīng)用。對(duì)于主要考慮結(jié)構(gòu)緊湊、量程可調(diào)性高、成本較低的應(yīng)用來(lái)說(shuō)，molbox RFM 是理想之選。第二種型號(hào) molbox1+ 針對(duì)的優(yōu)先考慮不確定度的應(yīng)用。要配置質(zhì)量流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，請(qǐng)查看隨后幾頁(yè)，選擇 molbloc 和壓力相關(guān)校準(zhǔn)，，以便更好的覆蓋您的流量量程和壓力狀況。molstic 安裝系統(tǒng)和 COMPASS® for
molbox 流量校準(zhǔn)軟件可以幫您完善系統(tǒng)。
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結(jié)構(gòu)緊湊
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molbloc-L 覆蓋的流量量程從 1 sccm 到 100 slm，而 molbloc-S 覆蓋的流量上限更是達(dá)到了 5000 slm
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從 20 種不同的氣體中選擇
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利用 100:1 可調(diào)性實(shí)現(xiàn)認(rèn)證的測(cè)量不確定度 ±0.5% 讀數(shù)
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內(nèi)部閥門，可實(shí)現(xiàn)內(nèi)置的清洗、泄漏測(cè)試和自重支持
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包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高級(jí)測(cè)量函數(shù)
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完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 遠(yuǎn)程通信
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利用可由用戶設(shè)置的參考?jí)毫蜏囟葼顟B(tài)，測(cè)量質(zhì)量和體積流量
· 流量測(cè)量技術(shù)指標(biāo)
·
molbox RFM 可測(cè)量通過(guò) molbloc 流量元件的流量。molbloc-L 的流量量程、可用工作壓力和壓力差，或者 molbloc-S 的流量量程、絕壓量程，取決于所使用的 molbloc 元件和校準(zhǔn)選項(xiàng)。請(qǐng)參閱 molbloc-L 和 molbloc-S 量程表，了解校準(zhǔn)和量程詳情。
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molbloc-L 量程最高可達(dá) 3E4，可通過(guò)微量程選項(xiàng)提高在 10% FS 以下時(shí)的分辨率和精確度。對(duì)于 1E5-L molbloc，必須使用微量程選項(xiàng)才能達(dá)到技術(shù)指標(biāo)。
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molbox RFM
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molbloc-L（量程從1E1-L到3E4-L）
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molbloc-S（所有量程）
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測(cè)量更新速率
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1秒
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1秒
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范圍
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到molbloc滿刻度，取決于氣體和molbloc壓力
取決于校準(zhǔn)類型（請(qǐng)參閱molbloc-L量程表）
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流量相對(duì)于20 kPa到200 kPa絕壓（3 psia到30 psia）或20 kPa到200 kPa絕壓（7 psia到70 psia）上游
（請(qǐng)參閱molbloc-S量程表）
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分辨率
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0.01% FS
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±0.01%讀數(shù)
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線性
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±0.23%讀數(shù)，從10%到100% FS
±0.023% FS，在10% FS以下
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±0.25%讀數(shù)
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重復(fù)性
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±0.1%讀數(shù)，從10%到100% FS
±0.01% FS，在10% FS以下
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±0.1%讀數(shù)
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精確度1
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±0.25%讀數(shù)，從10%到100% FS
±0.025% FS，在10% FS以下
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±0.3%讀數(shù)
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預(yù)測(cè)的穩(wěn)定度2
（一年期）
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±0.15%讀數(shù)，從10%到100% FS
±0.015% FS，在10% FS以下
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讀數(shù)的±0.2％
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測(cè)量不確定度3
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±0.5%讀數(shù)，從10%到100% FS
±0.05% FS，在10% FS以下
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±0.5%讀數(shù)，從50 kPa到500 kPa，±0.5%流量@
50 kPa從20 kPa到50 kPa
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具有微量程選項(xiàng)的molbox RFM
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molbloc-L（量程從1E1-L到3E4-L）
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molbloc-L（量程僅僅是1E5)
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測(cè)量更新速率
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1秒
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1秒
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范圍
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從0到molbloc滿刻度，取決于氣體和molbloc壓力
取決于校準(zhǔn)類型（請(qǐng)參閱molbloc-L表格）
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從0到molbloc滿刻度，取決于氣體和molbloc壓力
取決于校準(zhǔn)類型（請(qǐng)參閱molbloc-L表格）
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分辨率
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0.01% FS，0.001% FS以下
10% FS
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0.01% FS
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線性
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±0.23%讀數(shù)，從1%到100% FS；±0.0023% FS，在1% FS以下
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±0.25%讀數(shù)，從5%到100% FS
±0.0125% FS，，在5% FS以下
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重復(fù)性
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±0.1%讀數(shù)，從1%到100% FS
±0.001% FS，在1% FS以下
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±0.2%讀數(shù)，從5%到100% FS
±0.01% FS，在5% FS以下
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精確度1
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±0.25%讀數(shù)，從1%到100% FS
±0.0025% FS，在1% FS以下
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±0.32%讀數(shù)，從5%到100% FS
±0.016% FS，在5% FS以下
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預(yù)測(cè)的穩(wěn)定度2
（一年期）
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±0.15%讀數(shù)，從1%到100% FS
±0.0015% FS，在1% FS以下
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±0.2%讀數(shù)，從5%到100% FS
±0.01% FS，在5% FS以下
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測(cè)量不確定度3
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±0.5%讀數(shù)，從1%到100% FS
±0.005% FS，在1% FS以下
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±0.5%讀數(shù)，從5%到100% FS
±0.025% FS，在5% FS以下
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· molbloc-S（所有量程）
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除了沒(méi)有微量程以外，其他技術(shù)指標(biāo)與 molbox RFM 相同。只要將 molbox RFM 連接到 molbloc-S 上，就會(huì)禁用微量程傳感器。
· 1 精確度：包含線性度、遲滯和可重復(fù)性。
· 2 預(yù)測(cè)的穩(wěn)定度：典型 molbox RFM 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時(shí)一年內(nèi)從零到范圍值的最大變化情況。由于穩(wěn)定度只能是一種預(yù)測(cè)，因此應(yīng)該根據(jù)經(jīng)驗(yàn)建立特定 molbox RFM 的穩(wěn)定度。
· 3 測(cè)量不確定度：molbox RFM 流量指示相對(duì)于通過(guò) molbloc 的流量真值的最大偏差，包括精確度、穩(wěn)定度和 DHI 校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)不確定度。molbloc 的測(cè)量不確定度技術(shù)指標(biāo)僅適用于使用的是 molbloc 校準(zhǔn)過(guò)的氣體的情況。所有 molbloc 都針對(duì) N2 校準(zhǔn)過(guò)。其他氣體的校準(zhǔn)是可選的。并非所有規(guī)格的 molbloc 在所有時(shí)間，對(duì)所有氣體都提供 DHI 校準(zhǔn)功能。請(qǐng)?jiān)谟嗁?gòu)前檢查是否可用。
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型號(hào)
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描述
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Molbox
RFM
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molbox RFM參考流量監(jiān)控器
包含：
用戶手冊(cè)、校準(zhǔn)證書(shū)、電源線、(2)
molbox RFM到molbloc壓線、(1) molbox RFM到molbloc數(shù)據(jù)線、(2)直通壓力快速連接器
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5141-100
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molbox RFM, molbloc 5E1-L 10
to 100 sccm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E1-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5141-1K
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molbox RFM, molbloc 5E2-L 100
to 1,000 sccm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E2-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5141-10K
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molbox RFM, molbloc 5E3-L 1 to
10 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E3-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5141-50K
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molbox RFM, molbloc 3E4-L 5 to
50 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
3E4-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5142-1K
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molbox RFM-M, molbloc 5E2-L 10
to 1,000 sccm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E2-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5142-10K
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molbox RFM-M, molbloc 5E3-L
0.1 to 10 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E3-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5142-50K
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molbox RFM-M, molbloc 3E4-L
0.5 to 50 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
3E4-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5144-50K
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molbox RFM-M, molblocs 5E2-L
and 3E4-L10 sccm to 50 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E2-L and 3E4-L laminar flow elements
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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通用配件:
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配件
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描述
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MFC-CB控制盒
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MFC-CB控制盒
包括：
（2）MFC/MFM連接線套件
校準(zhǔn)線
電源線
操作與維護(hù)手冊(cè)
校準(zhǔn)報(bào)告
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針對(duì)molbloc/molbo用戶的校準(zhǔn)輔助軟件
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molstic-L安裝系統(tǒng)
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molstic-S安裝系統(tǒng)
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RFM-RMK
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機(jī)架安裝工具
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RFM
02
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微量程
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绂忕鍏嬪叕鍙告垚绔嬩簬1948骞达紝鏄笘鐣岀數瀛愭祴璇曞伐鍏风殑棰嗗鑰咃紝澶氬勾鏉ワ紝鍒涢€犲拰鍙戝睍浜嗕竴涓壒瀹氱殑鎶€鏈競鍦猴紝涓哄悇涓伐涓氶鍩熸彁渚涗簡浼樿川鐨勬祴閲忓拰妫€娴嬫晠闅滀骇鍝併€傜绂勫厠鐨勭敤鎴锋兜鐩栭潰骞匡紝鍖呮嫭鎶€鏈汉鍛樸€佸伐绋嬪笀銆佽閲忎汉鍛樼瓑绛夛紝浠栦滑鍒╃敤绂忕鍏嬬殑娴嬭瘯宸ュ叿杩涜宸ヤ笟鐢ㄧ數銆佺數鍣ㄨ澶囧拰杩囩▼鏍″噯鐨勫畨瑁呫€佹晠闅滆瘖鏂拰绠＄悊锛屽苟浠ユ鎺у埗璐ㄩ噺銆備粠宸ヤ笟鎺у埗绯荤粺鐨勫畨瑁呰皟璇曞埌杩囩▼浠〃鐨勬牎楠岀淮鎶わ紝浠庡疄楠屽绮惧瘑娴嬮噺鍒拌绠楁満缃戠粶鐨勬晠闅滆瘖鏂紝绂忕鍏嬬殑浜у搧甯姪鍚勮鍚勪笟鐨勪笟鍔￠珮鏁堣繍杞拰涓嶆柇鍙戝睍銆傚湪杩囧幓鐨勪簲骞翠腑锛岀绂勫厠鐨勬祴璇曞伐鍏锋洿鏄薄鑾锋畩鑽ｏ紝璧㈠緱浜嗐€婃祴璇曚笌娴嬮噺涓栫晫銆嬫渶浣虫祴璇曞伐鍏峰銆併€婃帶鍒跺伐绋嬨€嬪伐绋嬪笀閫夋嫨濂栫瓑50澶氫釜骞村害浜у搧濂栭」锛屼互鍏剁簿鍑嗐€佽€愮敤銆佸畨鍏ㄣ€佸垱鏂扮殑鐗规€ц€屽鍙楀叏鐞冪敤鎴疯禐瑾夈€�
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鈼囦笢鏂瑰槈浠垚绔嬩簬2003骞达紝涓昏浠庝簨宸ヤ笟妫€娴嬩华鍣ㄧ爺鍙戠敓浜у拰閿€鍞紝鎻愪緵浠櫒閫夊瀷+閰嶉€�+瀹夎璋冭瘯+鍩硅鏈嶅姟銆�
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鈼囨垜浠笉浠呬负鎮ㄦ彁渚涢珮璐ㄩ噺銆侀珮鎬ц兘鐨勬娴嬩华鍣紝鍙﹀杩樻湁缁忛獙涓板瘜銆佺淮淇妧鏈珮鐨勫洟闃熶负鎮ㄥ厤璐瑰敭鍚庢湇鍔℃敮鎸併€�
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