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molbloc/molbox通用技術(shù)指標(biāo)

molbox1+

molbox RFM
除非另行說明，否則所有技術(shù)指標(biāo)均與molbox1相同。

正常工作溫度范圍：

15到35°C

儲存溫度范圍：

-25到35°C

正常工作壓力范圍：

20到200 kPa絕壓（3到30 psia）；或50到500 kPa絕壓（7到70 psia）上游；或200到2000 kPa（30到300 psia），僅適用于molbox1+S。

總流量量程：

<1到5,000 slm

入口連接：
1E1-S到1E2-S
2E2-S到2E3-S
5E3-S和1E4-S

1/4 in. VCR™
1/2 in. VCR™
1 in. VCR™或1 in. NPT

出口連接：
5E1-S到2E3-S
5E3-S、1E4-S

16 mm (3/4 in.) ISO-KF型真空法蘭盤
40 mm (1 1/2 in.) ISO-KF型真空法蘭盤

支持的氣體：

氮氣(N2)、干空氣、潮濕空氣、氬(Ar)、一氧化碳(CO)、氦(He)、氧氣(O2)、二氧化碳(CO2)、四氟化碳(CF4)、乙烷(C2H6)、乙烯(C2H4)、三氟甲(CHF3)、六氟乙烷(C2F6)、氫氣(H2)、甲烷(CH4)、一氧化二氮(N2O)、丙烷(C3H8)、六氟化硫(SF6)、丁烷(C4H10)、八氟環(huán)丁烷(C4F8)、氙氣(Xe)

流量測量

范圍：

取決于molbloc的尺寸和壓力校準(zhǔn)量程（請參閱molbloc-S量程表格）

所需背壓率：

0.4到0.9，取決于雷諾數(shù)

校準(zhǔn)氣體：

標(biāo)準(zhǔn)：干空氣

可選：N2（取代標(biāo)準(zhǔn)空氣校準(zhǔn)或作為補充）、Ar、H2、He、N2O。有關(guān)這些氣體和其他氣體在特定量程內(nèi)的可用性，請咨詢廠家。

*濕空氣操作需要進(jìn)行干空氣校準(zhǔn)

molbloc-S壓力校準(zhǔn)量程：

低壓力(LP)：
20到200 kPa絕壓（3到30 psia），上游

標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)：
50到500 kPa絕壓（7到70 psia），上游

高壓力(HP)：
200到2 MPa絕壓（30到300 psia），上游

* HP校準(zhǔn)僅適用于molbox1+S終端
*流量測試技術(shù)指標(biāo)在10%到100% molbloc量程內(nèi)有效

分辨率：

±0.0015% FS

±0.01%讀數(shù)

精確度：

讀數(shù)的±0.06％

±0.30%讀數(shù)

預(yù)測的穩(wěn)定度（一年期）

讀數(shù)的±0.05％

讀數(shù)的±0.2％

測量不確定度

讀數(shù)的±0.2％
特級校準(zhǔn)：±0.125%讀數(shù)

50到500 kPa時，±0.5%讀數(shù)

型號

描述

1E1-S

KF [sccm/kPa]: 10
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容：

·        molbloc-S流元素

·        運輸和存儲箱

·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明

·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機構(gòu)或工廠。

2E1-S

KF [sccm/kPa]: 20
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容：

·        molbloc-S流元素

·        運輸和存儲箱

·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明

·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機構(gòu)或工廠。

5E1-S

KF [sccm/kPa]: 50
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容：

·        molbloc-S流元素

·        運輸和存儲箱

·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明

·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機構(gòu)或工廠。

1E2-S

KF [sccm/kPa]: 100
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容：

·        molbloc-S流元素

·        運輸和存儲箱

·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明

·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機構(gòu)或工廠。

2E2-S

KF [sccm/kPa]: 200

每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容：

·        molbloc-S流元素

·        運輸和存儲箱

·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明

·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機構(gòu)或工廠。

5E2-S

KF [sccm/kPa]: 500


每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容：

·        molbloc-S流元素

·        運輸和存儲箱

·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明

·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機構(gòu)或工廠。

1E3-S

KF [sccm/kPa]: 1000


每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容：

·        molbloc-S流元素

·        運輸和存儲箱

·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明

·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機構(gòu)或工廠。

2E3-S

KF [sccm/kPa]: 2000
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容：

·        molbloc-S流元素

·        運輸和存儲箱

·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明

·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機構(gòu)或工廠。

5E3-S

KF [sccm/kPa]: 5000
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容：

·        molbloc-S流元素

·        運輸和存儲箱

·        用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明

·        標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機構(gòu)或工廠。

1E4-S

KF [sccm/kPa]: 10,000
每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容：

·        molbloc-S流量元素

·        運輸和存儲箱

·        用于molbloc上游連接的柔軟的，可重復(fù)使用的VCR O形圈；用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明

·        處于標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

·        高度的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體-咨詢機構(gòu)或工廠。

molbloc-S校準(zhǔn)選件

低壓20到200 kPa（3到30 psia）
molbloc上游（指定溢價或標(biāo)準(zhǔn)）
標(biāo)準(zhǔn)壓力50到500 kPa（7到70 psia）
molbloc上游（指定溢價或標(biāo)準(zhǔn)）
高壓200到2000 kPa（30到300 psia）
molbloc上游（指定溢價或標(biāo)準(zhǔn)）